EBSD

测试案例

1、SEM形貌图

形貌

2、SEM-EDS能谱测试案例

点扫

线扫

Mapping

1.不导电或导电差的样品，为什么要喷金？

SEM成像，是通过detecter获得二次电子和背散射电子的信号。如样品不导电或导电性不好，会造成样品表面多余电子或游离粒子的累积不能及时导走，一定程度后就反复出现充电放电现象（charging)，最终影响电子信号的传递，造成图像扭曲，变形、晃动等现象，喷金后样品表面导电增强，从而避免积电现象。

2.喷金后，对样品形貌是否有影响？

样品表面喷金后，只是在其表面覆盖了几个到十几个金原子层，厚度只有几个纳米到十几个纳米而已，对于看形貌来说，几乎是没有什么影响的。

3.能现场测试吗？寄样的话，我不在旁边怎么才能拍到我要的图片？

现场测试：可以现场安排的样品及要求不同，具体可咨询当地的对接人员； 寄样测试：SEM或TEM，会给到您一个测试单，您把对应的制样要求（分散剂、超声时间、铜网等）、测试要求（标尺、拍摄位置、形貌效果等）、测试目的等写清楚，测试老师会按您指定的要求来拍。

4.一个样品会提供几张图片？

每样品提供6-8张左右，具体根据样品的拍摄情况而定。

5.SEM粉末怎么制样？

答：常规粘在导电胶上直接上机拍摄，需要分散的话可以用分散剂超声分散，然后滴在硅片或者铝箔上干燥后上机测试。

6.点扫线扫面扫分别是看什么的？

答：点扫是看选中的某个微区形貌的元素组成的，不适用于元素定量，只能看见大致谁多谁少；

线扫是看选中的某个方向上的元素组成的，不适用于元素定量，只能看见选定元素在此方向上的含量变化；

面扫可以用来直观表现选中元素的分布情况。

7.SEM放大倍数最大多大？标尺多少？

答：放大倍数最大就是20w倍，或者标尺是500nm，仪器型号不同放大倍数和标尺对应的可能会有点区别，具体可以放大多少还有样品稳定性有关。

8.SEM拍摄前什么情况需要客户需知？

答：稳定性不强，不耐电子束打的；受不住高电压的，常规是10kV；含水含有机挥发物的，不能抽高度真空；需要特殊制样手法的。

9.注意事项：

电镜拍摄由于其特殊性，拍摄老师会尽力拍摄，但没法保证一定会拍到您预期效果的图片，尤其磁性样品或者导电性差样品，请理解！

平台常规测试仪器放大倍数可达5-10万倍，但是实际效果跟样品情况关系密切，没法保证一定拍的到效果好的图片！