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产品简介:

仪器型号:日立HITACHI SU8010,GeminiSEM300,日立Hitachi S-4800等

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      测试案例

      1、SEM形貌图

      形貌

       

       

       

      2、SEM-EDS能谱测试案例

      点扫


      线扫


      Mapping



       


      1. 制样说明
      粉末、液体、薄膜、块体均可测试,粉体样品大概10mg,块体样品要求长宽小于1cm,厚度小于1cm。
      (1)粉体样品,常规粉末直接粘到导电胶上测试,如需分散后测试请提前说明;
      (2)液体样品,测试老师根据样品要求及实验室条件,随机选择滴到导电胶、硅片或铝箔上,如有指定要求请提前说明;
      (3)薄膜或块体,请标明测试面,如需测试截面,请自行自备截面或提前说明。

      2. 样品要求
      仅针对材料类样品,生物等样品另外说明。要求样品无毒、无放射性、干燥无污染、热稳定性好、耐电子束轰击。
      (1)样品是否导电。对于不导电或导电性差的样品,建议做喷金处理(以增强样品的导电性),默认喷金时长50s,如需延长喷金时间或喷碳等请提前说明。
      (2)样品是否有磁性。磁性颗粒,易吸附到极靴上,原则上电镜(SEM和TEM)不拍磁性样品。根据不同老师的经验,对所拍样品中磁性强弱的接受度不同,所以请大家务必如实填写样品是否含磁及磁性的强弱。

      1.不导电或导电差的样品,为什么要喷金?

      SEM成像,是通过detecter获得二次电子和背散射电子的信号。如样品不导电或导电性不好,会造成样品表面多余电子或游离粒子的累积不能及时导走,一定程度后就反复出现充电放电现象(charging),最终影响电子信号的传递,造成图像扭曲,变形、晃动等现象,喷金后样品表面导电增强,从而避免积电现象。

      2.喷金后,对样品形貌是否有影响?

      样品表面喷金后,只是在其表面覆盖了几个到十几个金原子层,厚度只有几个纳米到十几个纳米而已,对于看形貌来说,几乎是没有什么影响的。

      3.能现场测试吗?寄样的话,我不在旁边怎么才能拍到我要的图片?

      现场测试:可以现场安排的样品及要求不同,具体可咨询当地的对接人员; 寄样测试:SEM或TEM,会给到您一个测试单,您把对应的制样要求(分散剂、超声时间、铜网等)、测试要求(标尺、拍摄位置、形貌效果等)、测试目的等写清楚,测试老师会按您指定的要求来拍。

      4.一个样品会提供几张图片?

      每样品提供6-8张左右,具体根据样品的拍摄情况而定。

      5.SEM粉末怎么制样?

      答:常规粘在导电胶上直接上机拍摄,需要分散的话可以用分散剂超声分散,然后滴在硅片或者铝箔上干燥后上机测试。

      6.点扫线扫面扫分别是看什么的?

      答:点扫是看选中的某个微区形貌的元素组成的,不适用于元素定量,只能看见大致谁多谁少;

      线扫是看选中的某个方向上的元素组成的,不适用于元素定量,只能看见选定元素在此方向上的含量变化;

      面扫可以用来直观表现选中元素的分布情况。

      7.SEM放大倍数最大多大?标尺多少?

      答:放大倍数最大就是20w倍,或者标尺是500nm,仪器型号不同放大倍数和标尺对应的可能会有点区别,具体可以放大多少还有样品稳定性有关。

      8.SEM拍摄前什么情况需要客户需知?

      答:稳定性不强,不耐电子束打的;受不住高电压的,常规是10kV;含水含有机挥发物的,不能抽高度真空;需要特殊制样手法的。

      9.注意事项:

      电镜拍摄由于其特殊性,拍摄老师会尽力拍摄,但没法保证一定会拍到您预期效果的图片,尤其磁性样品或者导电性差样品,请理解!

      平台常规测试仪器放大倍数可达5-10万倍,但是实际效果跟样品情况关系密切,没法保证一定拍的到效果好的图片!


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